痕量分析中推荐使用的材料有以下类别：
1，氧化硅玻璃，尤其是人造石英，纯度高，是痕量分析中佳材质之一。主要优点有：不易受污染，表面平滑吸附性差，可耐1200℃高温，可耐大部分无机酸，HF及H3PO4除外。
2，多聚氟化物，PTFE，PFA及TFM，消解过程中优先选用此类材质容器。由于表面非极化，对极性离子吸附小，因此吸附或解吸造成的污染及损失很小。大可耐温度为250℃。优点在于这些材质几乎可耐所有无机酸，因此可用于HF消解样品。PFA与PTFE具有同样的物理力学性能、电性能、化学稳定性、不粘性、阻燃性和耐大气老化性。但PTFE的熔融温度为327℃，但树脂在380℃以上才处于熔融状态，熔体黏度高，再加上其耐溶剂性极强，因此它既不能熔融加工，也不能溶解加工。不能采用熔融挤压、注射成型等常规的热塑性塑料成型工艺，只能采用类似粉末冶金的方法进行烧结成型。PFA的熔点虽比PTFE低，但长期使用温度却与PTFE相同，而且高温下的机械强度优于PTFE。并且PFA其突出特点是热塑性良好，无PTFE那样的加工困难的问题，因此有可熔性聚四氟乙烯之称。PFA可采用模压、挤出、注射成型来进行加工。在此更推荐PFA材质的容器做为样品前处理的消解容器。
又如聚合物材质容器的清洗：
①去除聚合物表面残留物；
②用去离子水冲洗；
③放置在PFA大容量清洗罐中（代表产品：美国Savillex 4L大容量PFA清洗罐），加满1∶4HCl，浸泡，至少放置1周；
④用去离子水冲洗；
⑤放置在PFA大容量清洗罐中（代表产品：美国Savillex 4L大容量PFA清洗罐），加满1∶4HNO3，浸泡，至少放置1周；
⑥用去离子水冲洗；
⑦干燥。聚四氟乙烯容器清洗过程与聚合物材质容器相近，只是所用HCl、HNO3浓度为1∶1，并在80～90℃条件下保持至少4h。
合适的器皿，正确的清洁方式，才能大可能降低污染对ICP-MS的干扰，得到理想的分析结果。